复旦微电子,十周年!

作者:殷梦昊 张菲垭 许文嫣摄影:微电子学院 视频: 来源:融媒体中心发布时间:2023-05-20

复旦大学118周年校庆之际

5月20日

复旦大学微电子学院

迎来建院10周年

 

大千世界,无“微”不至

从谢希德创立半导体专门化

到十年前成立学院

复旦大学微电子学院

如今成长为国内集成电路领域最重要的创新策源和人才培养高地之一

 

赓续前辈精神血脉

复旦微电人接续奋斗

面向国家战略和社会经济发展需要

为实现高水平科技自立自强

打赢关键核心技术攻坚战

贡献“芯”力量

 

薪火相传,“芯”路不止

下个十年,更加精彩!

“不忘初心,为党和国家培养堪当大任的‘芯’青年;不负重托,为集成电路学科建设提供‘芯’方案;不辱使命,为打赢关键核心技术攻坚战贡献‘芯’力量。”

今天(5月20日)上午,复旦大学党委书记裘新在复旦大学微电子学院建院十周年发展论坛上代表学校向学院表示祝贺,并寄语学院,站在新十年的起点上,主动担当,积极作为,创造性答好时代之问,为建设中国特色世界顶尖大学贡献新工科的力量。

复旦大学微电子学院院长张卫,学院首任院长严晓浪,清华大学微电子学院院长吴华强,北京大学微电子学院院长蔡一茂,国际欧亚科学院院士、中国半导体行业协会集成电路分会理事长、复旦大学电子工程82级校友叶甜春,上海科技创业投资(集团)有限公司党委书记、董事长傅红岩致辞。复旦大学校长助理、中科院院士马余刚,集成芯片与系统全国重点实验室主任、中科院院士刘明,物理学系教授、中科院院士龚新高出席活动。

当天,学院还举行了建校118周年相辉校庆系列学术报告会和建院十周年学术报告会,成立复旦大学校友会集成电路行业分会。

破冰

作为我国最早从事研究和发展微电子技术的单位之一,复旦微电子学院,如何一步一步走来?故事的时间线,远不止10年。

自从贝尔实验室发明了晶体管,20世纪50年代起,半导体技术开始了蓬勃发展。而那时,中国的半导体技术研究和人才培养,就已在复旦起步。

这一切,都要归功于我国著名物理学家、新中国半导体技术奠基者之一、复旦大学前校长——谢希德教授。在那个计算机还是由电子管组成,动辄占据几间屋子的年代,刚刚回国任教的她,敏锐意识到半导体科学将是未来计算机科学的核心,投身半导体物理学研究。

1956年,黄昆教授与谢希德教授组建五校联合半导体教研室

1956年,党中央发出了“向科学进军”的伟大号召,周恩来总理主持制定了我国第一个发展科学技术的12年规划,一场雄壮的科学攻关战就此打响。那年,在谢希德的带领下,复旦大学参与共同创办了半导体物理专门化培训班,组建五校联合半导体教研室,创办我国第一个半导体专业,较系统地培养了我国第一批半导体人才

1958年,复旦大学时任副校长杨西光在北京大学与复旦大学半导体班同学合影留念

筚路蓝缕、乘风启航。复旦人立志攻坚核心技术、培养领军人才,在中国集成电路发展史上书写了一个又一个“第一”,为“中国芯”源源不断注入力量,诸多成果全国领先。

1959年,学生在物理系电子仪器工厂中制造示波器

阮刚,1960年初研制成功我国第一批锗集成电路,比集成电路发明人、2000年诺贝尔物理学奖得主、美国的杰克·基尔比(Jack Kilby)博士仅落后了一年多;唐璞山,在复旦开创CAD研究,为促进我国集成电路计算机辅助设计发展发挥了重要作用,曾带领部分师生去北京研发中国的IC-CAD软件;鲍敏杭,1981年回国率先在中国开展微机械传感器技术研究,涉及硅压力传感器、加速度传感器和微机械陀螺等……

1960年,复旦大学率先研制成功锗集成电路

改革开放后,我国加快集成电路产业建设。1989年,国家计划委员会批准筹建复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室。这也是国内第一个也是当时唯一一个专门从事集成电路设计研究的国家重点实验室。在叶仰林、章倩苓等人主持下,这个实验室成为国内集成电路科学研究、技术创新与高层次人才培养的大本营,为我国集成电路产业的跨越式发展做出重大贡献。

伴随国家战略部署与产业发展变革,复旦微电子学科建设水平逐步跃升,集成电路人才培养步伐进一步加快。2001年,复旦大学微电子学系成立。2013年,学校正式决定成立微电子学院。2015年5月,学院成为首批获批建设的国家示范性微电子学院。2019年,复旦大学“微电子科学与工程”专业获批国家级一流本科生专业建设点。

变革

灯火通明,机器嗡响,摆放各类精密仪器的超净工艺实验室内,身着白色无尘衣的科研人员聚精会神探讨。一项项前沿成果,就这样从微电子学院星罗棋布于复旦各校区的实验室中呱呱坠地。

时代流转,初心不变。新一代复旦微电人接过谢希德等老一辈科研人员手中的接力棒,在集成电路“卡脖子”技术领域持续耕耘、奋勇创新。

学院成立后,科研进展按下“加速键”——科研力量、资源更为集中,从而能更好集聚引育集成电路领域人才、承接国家重大科研任务、开展有组织原创性引领性科技攻关。

学院在先进铜互连工艺、原子层沉积技术、高k/金属栅集成工艺、超低源漏技术、新型存储器等领域取得了丰硕成果。在Science上发表了我国第一篇微电子器件领域的研究论文。

半浮栅晶体管器件是我国原始创新的微电子基础器件,论文2013年发表在Science

在集成电路设计领域,IEEE国际固态电路峰会(简称ISSCC)被誉为芯片界的奥林匹克,复旦微电子学院先后有15项研究成果在这一顶级学术会议中向全球发布,位列中国大陆高校前茅。

2013年,“长三角集成电路设计与制造协同创新中心”获批建设;2018年,“国家集成电路创新中心”正式揭牌;2019年,“国家集成电路产教融合创新平台”“新一代集成电路技术集成攻关大平台”启动建设……学院现有六大科研平台聚焦“卡脖子”问题研究、成果转化、人才培养等,与集成电路领域科研院所及龙头企业建立紧密的产学研合作机制。

学院各类科研平台

学院成立后,“集成电路科学与工程”这个全新的一级学科也率先建立。“当时我们和产业界交流中深刻感觉到,集成电路技术发展日新月异,原先的学科内涵、框架、人才培养方式都已无法满足产业的现实需求,迫切需要进行变革。”张卫回忆道。

“集成电路科学与工程”以物理、化学、数学、材料等基础学科为根基,更是一门以电子科学与技术、光学工程、机械工程、自动化等应用学科为支撑的战略性新兴学科,体现了多学科的交叉属性。2022年2月,在教育部公布的新一轮“双一流“学科建设目录中,复旦大学“集成电路科学与工程”学科成为唯一一个入选“双一流”的集成电路领域学科

全新框架下,复旦人加快学科建设步伐,紧扣集成电路产业链各环节主要任务,设有“微电子学与固体电子学”和“集成电路与系统设计”两个二级学科,在SOC设计、集成电路计算机辅助设计、半导体新工艺、新结构、新器件、微电子机械系统等领域的人才培养和科研创新方面取得了丰硕成果,奠定了在国内的前列地位。

融合

“做集成电路,不能只停留在写文章,还要做出自己品牌的产品!”上世纪末,这个掷地有声的呼吁,来自改革开放后第一批公派出国的学者、复旦大学电子工程系教授叶仰林。

开门办学,产教融合,复旦可谓“开风气之先”。汤庭鳌教授回忆,上世纪七八十年代,复旦就开始派教师去上海冶金所、上海元件五厂、上海器件公司等公司为技术人员上课,培养在职研究生。企业为学生提供实习场所、提供奖学金,教师也从中获得很多实际知识,做到互助互利。

而诞生于复旦校园的上海复旦微电子集团股份有限公司,更是产教融合的典范。

尽管叶仰林1995年因病逝世,但他的心愿却被同仁和后辈铭刻心中。经历各种努力与突破,1998年,在时任国家重点实验室主任章倩苓教授的支持下,由10多位实验室人员为主组建的复旦微电子公司正式落地,着手开展了复微品牌国产芯片的产业化进程。2000年,公司在香港上市,成为国内集成电路设计行业第一家上市企业。

1998年,复旦微电子公司揭牌成立

如今,复微集团拥有超过1400人的团队,从事超大规模集成电路与系统的设计、开发、测试。但这家脱胎于复旦实验室的上市公司,却始终保留着初创时的文化基因——诚信、开放、平等、创新。

 

俞军,复旦电子工程系86级本科生,也是复微集团创始人之一。毕业留校工作以来,他既是复旦大学的教师,认真上课和带学生做科研,也是复旦微电子公司技术开发的领军者,带领团队开发了一代又一代新产品。2020年,他带领团队获得了上海市技术发明奖一等奖。

企业对接现实需求、开展实操,高校负责前期技术预演,双方发挥所长、携手将科研成果转换为现实生产力,为解决经济和社会发展中的重难点问题作出贡献。“这种产学研的模式,真正将科学研究成果转化到了企业。”俞军说。

复旦微电子学院成立后,院企纽带愈发强韧。“人才必须通过实践培养,书本不能解决产业问题。”深耕产教融合多年,严晓浪有着深刻体会,“要将高校人才培养和企业创新创业紧密结合,才能在‘发展高科技,实现产业化’上起到重要作用。”

面对我国集成电路产业发展中面临的“卡脖子”难题,学院组织本领域产学研各界几十位专家,编写了第一部《中国集成电路技术发展路线图》,为制定集成电路相关政策和产业发展规划提供了重要指导,共同探索实践面向产业发展需求的产学研用之路。

面向集成电路技术前沿和国家重大战略需求,学院探索和实践集成电路领域创新人才培养科教融汇和产教融合的新模式、新机制、新体系,为集成电路人才培养构建了本、硕、博贯通的开放式、模块化、结构化的课程体系,同时积极拓展多种形式的工程实践活动。

近年来,学院已与国内外集成电路龙头企业建立7家联合实验室、18个产教融合实习实训基地,涵盖集成电路设计与EDA、制造工艺、封装测试,以及集成电路材料、装备等产业链关键环节。这让复旦学子在读书期间就能获得业界前沿经验,探索科研“无人区”。

传承

日月光华,旦复旦兮,济济英才,共创未来。近三年,学院近95%毕业生投身集成电路行业,其中绝大部分进入国内集成电路头部企业,所培养的毕业生已成为我国集成电路科研、教学、产业等领域的中坚力量。

人才成长的沃土,离不开高水平师资的浇灌。在学院雄厚的200余人师资团队中,有国家级高层次人才32人次,上海市高层次人才46人次。

2022年复旦大学集成电路行业校友论坛

“你们每一个人都应该发光发亮!”这是微电子学院教授蒋玉龙的经典语录。从主动给学生提供全课程预复习教学视频,到在全校最早引入基于在线课程的翻转课堂教学改革,他曾获复旦大学首届教学贡献奖,被评为复旦大学“钟扬式”好老师,也是首届全国高校教师教学创新大赛国家级一等奖和教学设计创新奖获得者。

蒋玉龙

“导师对我最大的教诲,就是对学术的热爱。”2019届微电子学院博士毕业生刘春森记得,有天晚上快12点了,他通过微信告诉微电子学院教授周鹏,半浮栅存储器件的核心实验有了初步结果,对方立马就从家里来到了实验室。在周鹏的悉心指导下,刘春森在科研道路上快速成长,29岁就成为复旦大学芯片与系统前沿技术研究院的青年研究员、博士生导师。

刘春森(左)与导师周鹏

“我们不能闭门造车。业界需要什么样的人才,我们就培养什么样的人才。”张卫介绍,学院教学指导委员会中,业界专家占总人数三分之二,学院业界导师人数高达50多位。这些行业资深专家将产业需求及时融入教学方案、课程、教材的设计之中。

依托复旦大学雄厚的基础学科和交叉学科优势,微电子学院紧扣集成电路产业发展需求,打破常规培养模式,积极推动工程硕博改革专项计划,构建注重知识、能力、素质综合提高的开放式高端工程技术创新型人才培养体系,实现了以“高精尖缺”和“产教融合”为导向的本硕博贯通的一体化人才培养。学院党委还把支部建在重大科研项目团队、教学团队上,探索师生联合支部形式,推动党建和事业发展深度融合,入选“上海党建工作标杆院系”培育创建单位

朱立远(左三)与团队获得第四届中国“互联网+”大学生创新创业大赛全国总决赛金奖

2020级博士生朱立远已在微电子学院度过9个春秋。在学院支持下,她大一下学期就加入导师的课题组,进入实验室开展科研;大二分流到卓越工程师班,和每位同学一样拥有了自己的实验箱和工作台;大四与团队获得第四届中国“互联网+”大学生创新创业大赛全国总决赛金奖。“是本科期间的科创经历让我增长了见识,开阔了眼界,更让我坚定了继续从事科研的信心。”她说。

春秋十易,攀登不止。面向新时代新征程,复旦微电子学院将不忘科技报国使命,落实立德树人根本任务,聚焦集成电路基础源头创新、前瞻性技术攻关、高层次人才培养,努力建成世界一流微电子学院,为国家战略需求贡献复旦力量。

制图:实习编辑:罗钰责任编辑:李斯嘉

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