历经28年,复旦大学微电子学院院长张卫教授从一个初出茅庐的科研人员,成长为国内集成电路领域的领军人物,获得无数荣誉。日前,他荣获2022年全国五一劳动奖章。他说:“荣誉只代表过去,我得继续努力工作,每天都有很多事情要做。”
张卫教授说,集成电路是信息产业的基础。复旦大学集成电路学科成为教育部公布的新一轮“双一流”学科建设名单中全国高校唯一入选的“集成电路科学与工程”学科。复旦大学微电子学院已是国家示范性微电子学院的典型代表,将努力建设成为集成电路基础源头创新、前瞻性技术攻关和高层次人才培养的国际一流微电子学院,为建设特色鲜明、引领创新、享誉世界学术殿堂的“第一个复旦”作贡献。
日前,复旦大学微电子学院院长张卫教授在知悉自己获得2022年全国五一劳动奖章时,他说:“荣誉只代表过去,我得继续努力工作,每天都有很多事情要做。”
搭建第一套原子层沉积技术实验研究平台
1995年6月,张卫博士毕业后到复旦做博士后,合作导师是电子工程系的王季陶教授。期间,他瞄准本领域的国际学术前沿,开展了先进铜互连技术和低介电常数互连介质等研究,并取得了很好的学术成绩。博士后出站后,张卫留校工作,继续专注于集成电路领域的创新研究。
之后,张卫在德国做了一年半的洪堡学者,2002年5月他回到复旦大学。在学校和学院领导的大力支持下,他在国内率先开展了原子层沉积(ALD)高k栅介质的研究。2003年他搭建了国内第一台原子层沉积实验设备,随后他组织举办了第一届中国原子层沉积技术学术会议,邀请国内外ALD领域专家参会,迅速扩大复旦大学在集成电路前沿领域的国际影响力。
如今,中国原子层沉积学术会议(CALD)已成功举办了9届。张卫教授团队在原子层沉积领域的研究也取得了丰硕成果,发表相关学术论文120多篇。
做科研就是要长久坚守、锲而不舍
历经28年,张卫从一个初出茅庐的科研人员,成长为国内集成电路领域的领军人物,获得无数荣誉。这一切的背后,离不开他的“死磕”。在他看来,“做科研,是我的工作,也是我长久的坚守。”
微电子学院青年教师孙清清,2004年还是一名大四的学生,当时他在张卫教授课题组做毕业设计。每次跟来自美国的工程师一起安装设备的时候,他发现旁边总有一个人,那就是张卫。
“几天接触下来,我感觉张老师是一个非常严谨的人,能从他身上学到东西。”本科毕业后孙清清跟着张卫教授攻读研究生。他和张卫的缘分,自2004年 延续至今,已成长为一名学科带头人。
“有时候,在大家觉得‘没必要’或‘不可能’的时候,他就不放弃,死磕,最后成功推进了。” 孙清清说。
“集成电路领域的研究需要产学研深度合作。”孙清清回忆,“张老师经常带着我们跟企业去谈,有时候每周都要乘飞机过去”。“张老师的坚持打动了对方,最终合作得以成功。”孙清清说,如果中间不坚持,事情肯定就“泡汤”了。
微电子学院2019年直博士徐航说:“老师对科研的态度非常认真严谨。有问题找他时,讨论中,他连一些小细节都不放过。他还会就你提出来的问题发散到面上,让你了解一些之前没考虑的问题,帮你理清科研思路。”
凭着这份韧劲,张卫几十年如一日,在科研路上孜孜不倦。近年来,他牵头承担了8项国家和上海市重大、重点科研项目,在Science、Nature Materials、IEEE Electron Device Letters、IEEE TED等本领域国内外学术期刊及会议上发表论文300多篇,申请发明专利180多项。?
教师不仅传授知识,更要做有价值的人生导师
“作为一名老师,首要任务是教书育人,为行业培养高质量的人才。”张卫说。除了潜心探索科研工作,张卫坚守在教学一线。他还给本科生讲授《半导体材料》课程。
一位复旦微电子专业20年前毕业的学生,现在已是企业高管,依然对张老师激情讲授的《半导体材料》课程印象深刻。
在张卫看来,“大学教育对一个学生未来职业规划和选择非常重要。作为老师,我想不仅仅是做科研,更是作为人生导师。不仅传授知识,更要活用我过去几十年的人生阅历,引导学生成长。”
多年来,张卫培养了一大批集成电路领域优秀人才,其中5人获得国家高层次人才等称号,40多人担任我国集成电路头部企业高管和核心技术人员,成长为我国集成电路领域的领军人物。
这两年,张卫还为高中生先修课堂上课,讲授“改变世界的芯片技术”。
张卫说,芯片是现代工业的粮食,是我们国家高科技强国建设的重要一环,希望通过先修课堂,让中学生对研究有了解,激发他们对科研世界的思考。
主动对接重大战略需求,助力“第一个复旦”建设
谈到未来微电子学院的发展,张卫说,学院将面向学科前沿和国家重大战略的需求,在平台建设、科研创新和人才培养等方面积极进取,特别是要探索集成电路人才培养的新模式,解决产业核心技术问题,培养产业急需的创新型领军人才,走出一条新路径。
张卫说,集成电路是信息产业的基础。复旦大学集成电路学科成为教育部公布的新一轮“双一流”学科建设名单中全国高校唯一入选的“集成电路科学与工程”学科。复旦大学微电子学院已是国家示范性微电子学院的典型代表,将努力建设成为集成电路基础源头创新、前瞻性技术攻关和高层次人才培养的国际一流微电子学院,为建设特色鲜明、引领创新、享誉世界学术殿堂的“第一个复旦”作贡献。
离开科研、教学,张卫的生活很简单,平常他最喜欢的活动就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。长期以来,他保持良好作息习惯,每天晚上11点之前睡觉,早上6点钟起床,以充沛的精力投入到新的一天。
受疫情影响,这段时间微电子学院实验室暂时“停摆”。作为导师,为了缓解学生的科研焦虑,张卫做了一些调整,让科研不间断,包括布置阅读新的文献、总结前期实验经验、讨论进一步完善实验计划……做实做足前期功课,等待条件允许时快速投入和推进实验。
在“五四”青年节来临之际,张卫寄语青年师生:“复旦青年有理想、有抱负。你们处在一个伟大的时代,要树立远大目标,将个人的规划和国家的需求紧密结合,努力成为担当民族复兴大任的时代新人。”