国家“十五五”规划纲要中,半导体产业成为战略性新兴支柱产业之首,被提升至国家战略核心地位。这其中,半导体关键设备、零部件和材料更是被列为关乎国家科技命脉的“卡脖子”攻坚的重中之重。
作为和复旦大学有着深厚渊源、成立数年便跻身国家级专精特新的重点“小巨人”企业,上海隐冠半导体技术股份有限公司(简称“隐冠”)在首席科学家杨晓峰教授带领下,以国家战略需求为牵引、以底层技术创新为驱动,自2019年以来深耕半导体设备精密运动控制平台与零部件领域,直面长期被海外公司垄断的高端市场,增强了国家在该领域的自主可控性。

精密运动控制平台是半导体制造、量检测以及先进封装等设备中链接整机和零部件的关键子系统,其精度、速度以及极端环境适应性直接决定了设备制程的先进性、产率和良率。
隐冠究竟如何在7年内实现跃迁式成长?如今,又怎样迈向“隐形冠军”的目标?
立志“隐冠”:锚定精密运动平台赛道
半导体设备产业链中,精密运动控制平台一直被视为“卡脖子”核心环节之一,对量检测、光刻设备和先进封装设备的高精度定位都起着举足轻重的作用。但是,精密运动控制平台和零部件领域在国内起步相对较晚,长期依赖进口,是国内半导体产业链的“痛点”之一。近年来,隐冠将“应用”与“攻关”紧密结合,围绕精密运动控制系统领域持续发力,形成了需求牵引创新、创新支撑应用的良性循环。
Q:隐冠半导体是一家怎样的企业?解决半导体设备领域什么问题?
杨晓峰:隐冠成立于2019年,主要聚焦于半导体制造、量检测、先进封装等关键设备中所需的精密运动控制平台和零部件。精密运动控制平台是半导体设备的关键子系统,也是承载硅片做高速高精度运动的载体。美国、欧洲等都有专门做这类产品的公司(美国有Aerotech、Newport,欧洲有PI、ETEL),有着悠久的行业历史和深厚的技术底蕴,国内在这个领域发展历程短、技术储备少,也缺少系统性理论研究和产业链的支持,很长一段时间一直依赖进口。
概括地讲,精密运动控制平台的工程核心是要解决“宏观尺度物体在纳米级微观尺度下的运动行为”问题,这需要融合材料、光学、机械及控制等多学科知识为基础,集成执行器、驱动控制器、减振器及测量反馈装置等零部件,统协软件算法和机械硬件,实现超高速、高精度以及高真空适应性等一系列互相制约的工程学目标,最终目的是推动整机各项技术指标逼近物理极限。
Q:“隐冠”这一名称有着怎样的愿景和寓意?
杨晓峰:“隐冠”名称源于“隐形冠军”的说法,德国管理学家赫尔曼·西蒙被誉为“隐形冠军之父”,1986年提出“隐形冠军概念,他的著作《隐形冠军》对此有详细描述。日本和德国有很多秉持专注一件事,奉行长期主义、发展稳健、讲究价值驱动的“隐形冠军”。因为个人有日本留学和工作经验,熟悉这类企业,希望未来能够成为精密运动控制平台和零部件领域的隐形冠军。
当然,我们也赋予了“隐冠”特定寓意,要求以“隐者之形做研发,冠军之魂出产品”,要耐得住寂寞,坐得住冷板凳,不浮躁,将精力聚焦在技术驱动价值上,强调质量是产品的魂,产品必须可靠、稳定、高质量。

硬核突围:让核心技术从实验室走向市场
身为复旦大学微电子学院教授,杨晓峰曾在海外知名企业从事技术工作多年,学术加产业的双重背景加持,让隐冠从一个初创企业顺利成长为国家级专精特新重点“小巨人”企业。
公司创立之初,恰逢国家大力发展半导体设备核心零部件的“风口”。此后数年,企业快速发展,持续获得技术突破并顺利实现量产。目前,隐冠已完成多轮融资,围绕精密运动控制平台及关键零部件,构建了半导体光刻、键合和量检测等多个领域的产品线,并向产业链上游延伸,布局了压电致动器、特种电机等核心零部件业务。
Q:半导体设备的核心技术如何从研发走向市场,能否举例说明?
杨晓峰:技术要转化成产品,首先技术本身一定要有沉淀,这是解决市场需求的基础,其次要知道行业缺什么、痛点在哪里,最终用技术能解决客户的需求,把技术落到具体应用场景。技术要接客户需求的“地气”,才能走向市场。
举个例子,在满足各类极端的技术指标之后,客户要求生产一款扁平化、小型化、可靠性高、维护便利、成本可控的运动平台。团队在分析评估几种主流结构模式之后,离客户需求仍有差距,于是大胆创新提出了大行程磁浮重力补偿技术,降低垂向执行器的驱动负载、减少执行器发热,获得了客户肯定。
Q:您出于什么样的考量选择创业?
杨晓峰:首先是2018年中美贸易摩擦,美国对中国实施一系列芯片出口管制措施,逐步限制中国企业获得先进的半导体技术和关键设备,这其中,精密运动控制平台正是国产半导体设备领域中非常核心又缺少技术积累的子系统,当时国际形势下,我们只能自己解决“卡脖子”问题;其次,就个人而言,我在海外有相关领域的工作经验,了解市场需求,具备在精密运动控制平台领域创业的条件;第三是遇到了志同道合的团队,大家都有着深厚的产业情怀和相同的价值观。

Q:从教授到创业者,需要有哪些观念转变?
杨晓峰:创业维艰,从教授到创业者,个人认为有几个观念需要转变和厘清:第一,好技术不一定就能创业成功,好技术只是创业的条件之一。好技术要落到实处,要与市场需求结合;第二是要从项目思维转为产品思维,产品思维要以客户需求为中心,关注是否真正解决客户问题,是否真正为客户创造价值,要考虑产品可靠性、功能性、稳定性等多个维度;第三,创业要做好团队协作和分工,公司形成产品体系并发展到一定规模后,需要方方面面的人才,我们的产业需要懂科学的企业家和懂企业的科学家。
双向赋能:关键是找到合适的“0”
展望校企在科研方面的合作与分工,杨晓峰认为面向国家战略和产业发展需求、开展具有前瞻性、引领性和独特性的科研工作是高校优势所在。高校可以选择源头性、高质量的科学问题为发展新质生产力培育源头动能。另外,高校也可以通过与企业的紧密合作洞悉产业发展的真实需求,共同探寻未来技术突破的正确路径。
Q:复旦大学对企业成长过程有什么样的影响?
杨晓峰:隐冠的成长离不开复旦的滋养,也离不开金力校长等校领导、科研院及所属学院等相关单位一直以来的关心和支持。复旦的精神内核也深刻影响了隐冠,并成为刻在公司骨子里的基因。隐冠一路走来,在解决精密运动控制领域一个又一个 “卡脖子”难题的过程中,需要多学科知识交叉融合,需要持之以恒地探索并追求极致,需要团队内部不断地切磋琢磨,互相启发与深度思考,结合市场需求发现问题解决问题……这些都是复旦大学校训 “博学而笃志,切问而近思”内涵的体现。

Q:在您看来,企业与高校应该如何达成更好的合作和分工?
杨晓峰:正如金力校长所说,高校以基础研究见长,理应在国家重大战略中找准紧迫性问题,从经济社会发展主战场中提炼瓶颈性问题,让基础研究始终紧跟国家所需、锚定科技前沿,实现在关键核心技术、基础科学原创方面的突破,进一步夯实科技强国建设根基。问题导向是基础研究原点, 选择合适的“0”(指源头性、高质量的科学问题)是高校重要使命之一,做“从0到1”的事情,探索从高校的科技成果到具体的产业化应用。从企业角度,我们更清楚市场的需求,把产业化过程中提炼的机理问题和科学问题,回到学校从事基础研究,赋能企业。这样企业就既能“知其然”又能“知其所以然”,形成良性的产学研生态闭环。

Q:隐冠如何做到持续创新?
杨晓峰:我们有幸处在一个可以大有作为的伟大时代,技术创新一方面要聚焦在核心技术受制于人的领域,解决“卡脖子”问题,另一方面要聚焦事关长远发展、可能催生变革性技术和产业革命的战略必争领域。
隐冠所在的领域和团队专业背景,决定了我们有持续创新的意愿和能力,我们一方面持续以客户需求为中心,解决客户需求,实现技术创新,另一方面则站在产业前沿用国际视野审视创新,保持对变革性创新的敏锐度、前瞻性与方向感。有句古话说“苟日新,日日新,又日新”。隐冠将继续站在终端应用客户的视角审视创新,密切跟进半导体设备行业的发展趋势,注重前瞻性技术开发储备,为中国芯片产业的高质量发展与供应链安全,铸造最坚实的隐形底盘。





